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达曼光栅
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产品编号
所属分类
分束元件
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产品描述
产品概述
作为一种实现激光分束典型的二元光学元件，达曼光栅只有两个相位台阶，通过改变单个相位周期内，相位断点的个数和相对位置，实现不同的分束激光点阵。广泛应用到光纤星状耦合，多激光干涉，光互连，激光打孔，激光测量，激光表切等当中。
产品原理
达曼光栅在设计过程中，首先由光栅方程，根据客户需要的角间隔θ和激光波长λ，计算得出光栅周期(假定入射光为准直光)：
得出周期，采用全局算法和相应的优化算法，得出达曼光栅在周期内的断点和提供的调制相位(0,a1,a2,……an,1;)，其中调制相位和刻蚀深度s的对应关系为(元件折射率为n)：
产品参数
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材料 |
熔融石英 |
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试用波长 |
193nm~2000nm |
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元件尺寸 |
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一维达曼光栅效率 |
＞80% |
|
二位达曼光栅效率 |
＞64% |
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镀膜 |
增透膜 |
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分束点数 |
根据客户需求进行定制 |
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角间隔 |
根据客户需求进行定制 |
产品性能特点
1. 达曼光栅分束不改变光束固有特性，包括光束的光束质量，光斑能量分布等参数
2. 达曼光栅需要入射光正入射
3. 达曼光栅微结构为周期性重复结构，一般入射光入射到光栅任何刻蚀面积不影响最终分束结果
4. 达曼光栅的分束点数和分束角间隔取决于当下半导体加工的线宽，一般点阵数量越多，角间隔越大，加工难度越大
5. 入射光斑大小最好覆盖达曼光栅周期的5倍以上，在可以牺牲一定均匀性的前提下，3倍为最低限度，否则分束效果受限
6. 二维达曼光栅，为对一维达曼光栅进行正交变换，因此其分束效率为一维达曼光栅的平方，通常只有60多的百分比
产品使用
在使用过程中，根据设计入射角(一般为正入射)，入射激光入射到达曼光栅元件上。客户也可以根据需求，选择是否使用聚焦镜。
注意事项
针对我们产品的主流原材料----熔融石英，我们对其进行了损伤近似值的测试，实验光源采用1064nm的皮秒激光器，重复频率为800KHz，测出元件的损伤近似阈值如下所示：
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项目 |
不镀膜 |
镀膜 |
|
平均功率（W) |
50 |
48 |
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能量密度（J/cm2） |
1.9 |
1.8 |
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峰值功率（GW/cm2） |
1250 |
1200 |
环境要求
l 工作湿度：15%~85%
l 保存湿度：10%~90%
拆开检查
n 打开包装，仔细检查产品，并轻拿轻放
n 如果发现产品有任何损坏，请保留好并及时通知我公司人员
n 请不要尝试使用已损坏的产品
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无
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分束元件
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