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达曼光栅
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产品描述
1917年，由Damman和果儿特勒提出，用于产生任意排列点阵，且光栅均匀性不受光入射光波的影响，并将此类光栅命名为“达曼光栅”。北京润和微光科技有限公司自主设计，研发，生产的达曼光栅，具有光束整体效率高，各光束强度均匀性好等特点。用户可以根据需要，定制达曼光栅的分束点数和光束之间的角间隔。为了拓展其应用，公司还推出二维达曼光栅，极大地提高了此类产品的应用场景。
应用领域
光互连
激光打孔
激光测量
激光表切
产品手册
本公司的衍射匀化产品使用的原材料主要有熔融石英、PC、PMMA、硒化锌等，针对不同的波长，客户可选用不同的原材料。而本公司最常使用的原材料—石英选自康宁公司的编号7980的紫外石英，其光学参数见附表1。为提高光能透过率，可对元件进行镀膜，AR镀膜后的光透过率为98%以上。
达曼光栅在设计过程中，首先由光栅方程，根据客户需要的角间隔θ和激光波长λ，计算得出光栅周期（假定入射光为准直光）：
得出周期，采用全局算法和相应的优化算法，得出达曼光栅在周期内的断点和提供的调制相位（0,a1,a2,……an,1;），其中调制相位和刻蚀深度s的对应关系为（元件折射率为n）：
产品使用方法
在使用过程中，根据设计入射角，入射激光入射到达曼光栅元件上。客户也可以根据需求，选择是否使用聚焦镜，假定聚焦镜焦距为f，则聚焦镜焦平面上的点间距为：
主要技术参数
|
材料 |
熔融石英 |
|
试用波长 |
193nm~2000nm |
|
元件尺寸 |
根据客户需求进行定制 |
|
一维达曼光栅效率 |
＞80% |
|
二位达曼光栅效率 |
＞64% |
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镀膜 |
增透膜 |
|
分束点数 |
根据客户需求进行定制 |
|
角间隔 |
根据客户需求进行定制 |
加工误差的影响
在刻蚀加工元件的过程中，制作的误差会影响到各焦点的均匀性和整体的能量效率。尤其在偶数个焦点的多焦点元件，加工误差将直接带来零级焦点和奇数焦点的出现。通常在红外波段零级焦点强度会控制在入射光能量的0.2%，紫外波段会略大于这个数值。
损伤阈值
针对我们产品的主流原材料----熔融石英，我们对其进行了损伤近似值的测试，实验光源采用1064nm的皮秒激光器，重复频率为800KHz，测出元件的损伤近似阈值如下所示：
|
项目 |
不镀膜 |
镀膜 |
|
平均功率（W) |
50 |
48 |
|
能量密度（J/cm2） |
1.9 |
1.8 |
|
峰值功率（GW/cm2） |
1250 |
1200 |
加工精度
对于达曼光栅元件，本公司采用的干法刻蚀的工艺，这其中，刻蚀工艺的精度将直接影响到扩散片的匀化效果，为显示本公司的刻蚀工艺的加工精度，本公司委托第三方检测机构使用原子力显微镜检测匀化产品的表面三维结构，如下图所示，可以看出，本公司采用的刻蚀工艺的深度精度可以控制在3%以内。
安全事项
1.环境要求
l 工作湿度：15%~85%
l 保存湿度：10%~90%
2.拆开检查
n 打开包装，仔细检查产品，并轻拿轻放
n 如果发现产品有任何损坏，请保留好并及时通知我公司人员
n 请不要尝试使用已损坏的产品
关键词:
光栅
焦点
镀膜
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