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衍射光学元件：衍射光学元件的特点
发布时间：
2021-03-10 10:56
来源：
衍射光学元件是光刻机中的一系列可移动透镜，主要用于产生光刻所需的光源。 光刻机的光源约为4000透镜。衍射光学元件的特征： 衍射光学元件的特征是它可以在保持高衍射效率的同时，明确地控制光强度分布。 因此，衍射光学元件成为离轴照明的理想组件。 通常用于光刻系统衍射光学元件的离轴照明，子单元的数量需要少于10个，设计数据量很大，并且单元尺寸达到微米甚至亚微米的数量级。
衍射光学元件是光刻机中的一系列可移动透镜，主要用于产生光刻所需的光源。 光刻机的光源约为4000透镜。
衍射光学元件的特征：
衍射光学元件的特征是它可以在保持高衍射效率的同时，明确地控制光强度分布。 因此，衍射光学元件成为离轴照明的理想组件。 通常用于光刻系统衍射光学元件的离轴照明，子单元的数量需要少于10个，设计数据量很大，并且单元尺寸达到微米甚至亚微米的数量级。
光线沿直线传播。 当光线穿过小孔或穿过轮廓分明的边缘时，沿着小孔的边缘会产生干涉图样。 结果是图像模糊，而不是预期在光和阴影之间出现的图像。 边缘清晰，光线似乎沿着缝隙的边缘弯曲。 这种现象称为衍射。
衍射效率：
衍射效率是评估衍射光学元件和包含衍射光学元件的折射-衍射混合光学系统的重要指标。 在光通过衍射光学元件之后，产生多个衍射级。 通常，仅关注主衍射级的光，而其他衍射级的光在主衍射级的像面上形成杂散光，从而降低了像面的对比度。 因此，衍射光学元件的衍射效率直接影响衍射光学元件的成像质量，非常需要准确地测量衍射光学元件的衍射效率。
面膜的衍射：
光的衍射与光刻技术密切相关，因为投影掩模具有小的清晰图案和狭窄的间距。 在曝光期间，光一定要穿过这些图案，衍射图案会带走曝光的力量，并使光发散，从而导致光致抗蚀剂的未曝光区域曝光。 当孔小时，例如接触孔小到200nm时，这个问题更加严重。 衍射引起的干涉图样会使小接触孔和小线难以光刻。
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