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衍射光学元件:衍射光学元件的特点

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  • 发布时间:2021-03-10 10:56
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【概要描述】衍射光学元件是光刻机中的一系列可移动透镜,主要用于产生光刻所需的光源。 光刻机的光源约为4000透镜。衍射光学元件的特征: 衍射光学元件的特征是它可以在保持高衍射效率的同时,明确地控制光强度分布。 因此,衍射光学元件成为离轴照明的理想组件。 通常用于光刻系统衍射光学元件的离轴照明,子单元的数量需要少于10个,设计数据量很大,并且单元尺寸达到微米甚至亚微米的数量级。

衍射光学元件:衍射光学元件的特点

【概要描述】衍射光学元件是光刻机中的一系列可移动透镜,主要用于产生光刻所需的光源。 光刻机的光源约为4000透镜。衍射光学元件的特征:
衍射光学元件的特征是它可以在保持高衍射效率的同时,明确地控制光强度分布。 因此,衍射光学元件成为离轴照明的理想组件。 通常用于光刻系统衍射光学元件的离轴照明,子单元的数量需要少于10个,设计数据量很大,并且单元尺寸达到微米甚至亚微米的数量级。

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衍射光学元件是光刻机中的一系列可移动透镜,主要用于产生光刻所需的光源。 光刻机的光源约为4000透镜。

衍射光学元件的特征:
衍射光学元件的特征是它可以在保持高衍射效率的同时,明确地控制光强度分布。 因此,衍射光学元件成为离轴照明的理想组件。 通常用于光刻系统衍射光学元件的离轴照明,子单元的数量需要少于10个,设计数据量很大,并且单元尺寸达到微米甚至亚微米的数量级。

光线沿直线传播。 当光线穿过小孔或穿过轮廓分明的边缘时,沿着小孔的边缘会产生干涉图样。 结果是图像模糊,而不是预期在光和阴影之间出现的图像。 边缘清晰,光线似乎沿着缝隙的边缘弯曲。 这种现象称为衍射。

衍射效率:
衍射效率是评估衍射光学元件和包含衍射光学元件的折射-衍射混合光学系统的重要指标。 在光通过衍射光学元件之后,产生多个衍射级。 通常,仅关注主衍射级的光,而其他衍射级的光在主衍射级的像面上形成杂散光,从而降低了像面的对比度。 因此,衍射光学元件的衍射效率直接影响衍射光学元件的成像质量,非常需要准确地测量衍射光学元件的衍射效率。

面膜的衍射:
光的衍射与光刻技术密切相关,因为投影掩模具有小的清晰图案和狭窄的间距。 在曝光期间,光一定要穿过这些图案,衍射图案会带走曝光的力量,并使光发散,从而导致光致抗蚀剂的未曝光区域曝光。 当孔小时,例如接触孔小到200nm时,这个问题更加严重。 衍射引起的干涉图样会使小接触孔和小线难以光刻。

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