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微纳光学:微纳光学结构及应用

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  • 发布时间:2021-02-08 13:59
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【概要描述】微纳光学结构技术是指通过在材料中引入微纳光学结构,实现新型光学功能器件。其中表面等离子体光学、人工负折射率材料、隐身结构,都是通过引入微纳结构控制光的衍射和传播,从而实现新的光学性能。从这个角度来讲,微纳光学结构的设计和制造是微纳光学发展的共性关键技术问题,微纳光学是新型光电子产业的重要发展方向。

微纳光学:微纳光学结构及应用

【概要描述】微纳光学结构技术是指通过在材料中引入微纳光学结构,实现新型光学功能器件。其中表面等离子体光学、人工负折射率材料、隐身结构,都是通过引入微纳结构控制光的衍射和传播,从而实现新的光学性能。从这个角度来讲,微纳光学结构的设计和制造是微纳光学发展的共性关键技术问题,微纳光学是新型光电子产业的重要发展方向。

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微纳光学结构技术是指通过在材料中引入微纳光学结构,实现新型光学功能器件。其中表面等离子体光学、人工负折射率材料、隐身结构,都是通过引入微纳结构控制光的衍射和传播,从而实现新的光学性能。从这个角度来讲,微纳光学结构的设计和制造是微纳光学发展的共性关键技术问题,微纳光学是新型光电子产业的重要发展方向。


1.微纳光学技术的多种应用

1)加工新型光栅

借助大规模集成电路技术,可以处理新型光栅。 光栅是一种非常实用的基本光学设备,光通信波分复用器,激光工程,光谱分析等领域。 传统的表面光栅的表面光栅结构非常薄,无论是机械表征的光栅还是全息光栅。 明胶或光折射体积全息光栅具有较厚的光栅。 由于制造过程的一致性,温度稳定性和长期稳定性,在实际应用中仍然存在局限性。

2)制作深刻蚀亚波长光栅

使用激光全息术,光刻技术和半导体干法蚀刻技术可以处理深蚀刻的亚波长光栅。使用激光全息术产生高密度的光栅光场; 其次,通过光刻工艺在光刻胶上制作光栅掩模。然后使用半导体干法刻蚀技术,例如反应性离子或高密度等离子体进行处理,从而产生深腐蚀的表面光栅。

3)可以实现各种新的光学元件

通过使用微纳光学技术和数字编码技术,还可以实现更多新的光学组件,例如偏光镜片。 所谓的偏光镜只能成像一个偏振光,而完全滤除另一偏振光。 众所周知,光学透镜是基本的光学元件。

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