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2021-03
衍射光学元件：衍射光学元件的特点
衍射光学元件是光刻机中的一系列可移动透镜，主要用于产生光刻所需的光源。 光刻机的光源约为4000透镜。衍射光学元件的特征： 衍射光学元件的特征是它可以在保持高衍射效率的同时，明确地控制光强度分布。 因此，衍射光学元件成为离轴照明的理想组件。 通常用于光刻系统衍射光学元件的离轴照明，子单元的数量需要少于10个，设计数据量很大，并且单元尺寸达到微米甚至亚微米的数量级。
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2021-02
衍射光学元件：衍射光学元件的原理及发展
衍射光学元件，是基于光波的衍射理论，利用计算机辅助设计，并通过半导体芯片制造工艺，在基片上(或传统光学器件表面)刻蚀产生台阶型或连续浮雕结构，形成同轴再现、且具有很高衍射效率的一类光学元件。衍射光学元件薄而轻，体积小，还具有高衍射效率、多设计自由度、良好的热稳定性和独特的色散特性，是诸多光学仪器的重要元件。
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衍射光学元件：衍射光学元件选型的基本原则
根据不同的用途，衍射光学元件通常可以分为光束整形、分束、结构光、多焦、其他特殊光束产生等种类；每种品类有不同的原理、设计和应用特点。一般而言，在选择使用衍射光学元件之前需注意以下原则：
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衍射光学元件：衍射光学元件的主要应用
1.光束整形 （1）平顶光束整形“ Top-Hat ”或“ Flat-Top ”光束整形是衍射光学器件（DOE），用于将近高斯入射激光束转换为圆形，矩形，正方形，线性或均匀强度（平坦）点或特定点工作平面其他形状，中间有锋利的边缘。
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微纳光学：什么是微纳光学？
使用微结构材料作为光学元件的光学分支。 随着生长技术和精密加工技术的发展，其微观结构的规模已降至纳米级，如光学超晶格，级联量子阱等技术。 微观结构的尺寸通常为几十或几百。 因此，将包含微米级和亚微米级精细结构的纳米级材料统称为微米/纳米结构材料，其包含许多新的光学特性。 这些“新的”光学定律是宏观无法反映的。
微纳光学：微纳光学结构及应用
微纳光学结构技术是指通过在材料中引入微纳光学结构，实现新型光学功能器件。其中表面等离子体光学、人工负折射率材料、隐身结构，都是通过引入微纳结构控制光的衍射和传播，从而实现新的光学性能。从这个角度来讲，微纳光学结构的设计和制造是微纳光学发展的共性关键技术问题，微纳光学是新型光电子产业的重要发展方向。
