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衍射光学元件:基本原理及发展趋势


衍射光学元件,是根据光波的衍射基础理论,运用辅助设计设计方案,并根据集成电路芯片生产制造加工工艺,在衬底上(或传统式电子光学元器件表层)离子注入造成阶梯型或持续浮雕图案构造,产生同轴输出重现、且具备很高衍射效率的一类光学元件。衍射光学元件薄而轻,体型小,还具备高衍射效率、多设计方案可玩性、优良的耐热性和与众不同的散射特点,是众多光学设备的关键元器件。

 

 

衍射光学元件,是根据光波的衍射基础理论,运用辅助设计设计方案,并根据集成电路芯片生产制造加工工艺,在衬底上(或传统式电子光学元器件表层)离子注入造成阶梯型或持续浮雕图案构造,产生同轴输出重现、且具备很高衍射效率的一类光学元件。衍射光学元件薄而轻,体型小,还具备高衍射效率、多设计方案可玩性、优良的耐热性和与众不同的散射特点,是众多光学设备的关键元器件。因为衍射一直造成光学系统的高分辩率受限制,传统式的电子光学一直尽量减少衍射效用导致的不好危害,直到六十年代,伴随着仿真模拟全息术和电子计算机全息投影及其相息图的创造发明和取得成功地制做造成了意识上的重特大转型。到七十年代,虽然电子计算机全息投影和相息图的技日臻健全,可是制做在能见光和近红外线股票波段内具备高衍射效率的超精细结构元器件仍遭遇艰难,因此限定了衍射光学元件的具体运用范畴,到八十年代,由英国MIT林肯汽车试验室的W.B.Veldkamp领导干部的课题组先将生产制造集成电路工艺集成电路芯片(VLSI)的光刻技术性引进衍射光学元件的制做中,明确提出了“二元电子光学”的定义,以后各种各样新式的生产加工做法层出不穷,高品质的和多用途的衍射光学元件制做,进而很大的促进了衍射光学元件的发展趋势。

衍射效率

衍射效率是点评衍射光学元件及其带有衍射光学元件的折衍射混和光学系统的关键指标值之一。光线根据衍射光学元件后,会造成好几个衍射级次,一般仅仅关心主衍射级次的光线,别的衍射级次的光线在主衍射级像表面产生杂散光眼,减少像面的饱和度。因而,衍射光学元件的衍射效率立即危害到衍射光学元件的显像品质。

因为衍射光学元件以及灵便的上手波前,集多用途与一体和可拷贝的优良特点视光学系统软件及元器件向综合化,小型化发展趋势。到90年代迄今,衍射光学元件的科学研究已变成电子光学界的前沿工作中。这种元器件可普遍应用于激光器球面波的纠正,光线模型成型,光线列阵产生器,电子光学互联,电子光学平行面测算,通讯卫星光纤通信等层面。