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超高长宽比的极细线性均匀光斑


本公司推出一种基于衍射光学元件结合柱透镜产生超高长宽比的极细线性平顶光斑的方法。

本公司推出一种衍射光学方法实现的超高长宽比的均匀线性光斑,在激光剥离,激光退火,晶圆的激活等工艺应用中,有很广阔的应用。

通过扩束镜,对入射光斑大小进行调整,经过DOE进行相位调制,经过柱透镜后,在所用柱透镜的焦平面内得到线性平顶光斑。目前此类产品以获得国家发明专利。专利号(ZL201510875267.X)